Главная arrow Публикации arrow Литографические процессы arrow Альтернативные источники экспонирования
Main Menu
 Главная
 Новости
 Публикации
 Литографические процессы
 Базовые основы наноэлектроники и Одноэлектроника
 Тонкие пленки оксидов переходных металлов (ОПМ)
 Другие статьи
 Нано-элементы для обработки оптической информации
 FAQ
 Ссылки
 Контакты

Who's Online
На сайте:
12 гостей

Hit Counter
715679 посетителей

Наш баннер:
Мы будем рады, если вы разместите на своем сайте нашу кнопочку
NANO_Technologies


Newsflash
Нано-технологии позволят сделать фантазии реальностью. Материальное воплощение будут иметь чудеса, магия, бессмертие и прочие отклонения от закона сохранения энергии и импульса. Работая непрерывно, самовосстанавливаясь и черпая энергию из солнца, геотермальных или новых источников энергии нано-роботы будут создавать ту самую среду, в которой сказки будут окружать нас! Будет ли это светлым будущим или катастрофой - решать людям, но это точно будет другой мир.

 22 August 2018
Альтернативные источники экспонирования   Версия для печати  Отправить на E-mail 
Опубликовал Irina Bolshakova  
02 December 2004

Для получения структур с разрешением ниже 100 нм становится обоснованным использование принципильно новых способов экспонирования. Принимая во внимание необходимость разработки высокопроизводительных литографических систем можно выделить следующие 4 основные направления: предельный или экстремальный ультрафиолет (extrimt UV lithography – EUVL), электронная проекционная литография (SCALPEL), рентгеновская литография (Х- ray lithography), ионная литография (ion beam lithography).


Most Read
Методы получения тонкопленочных структур
Квантовые ямы, нити, точки
Физические основы наноэлектроники
Получение нанокристаллических пленок ванадия, исследование их свойств
Сайт Нано Технологии

Shout It!

Имя:

Сообщение:


 
Go to top of page  Главная | Новости | Публикации | FAQ | Ссылки | Контакты |
Mambo 
Copyright © 2002-2005 Stefanovich G.B. & Bolshakova I.P.

НОЦ Плазма Петрозаводский государственный университет