Главная arrow Публикации arrow Тонкие пленки оксидов переходных металлов (ОПМ) arrow Заключение
Main Menu
 Главная
 Новости
 Публикации
 Литографические процессы
 Базовые основы наноэлектроники и Одноэлектроника
 Тонкие пленки оксидов переходных металлов (ОПМ)
 Другие статьи
 Нано-элементы для обработки оптической информации
 FAQ
 Ссылки
 Контакты

Who's Online
На сайте:
20 гостей

Hit Counter
726257 посетителей

Наш баннер:
Мы будем рады, если вы разместите на своем сайте нашу кнопочку
NANO_Technologies


Newsflash
Медицинские нанороботы осваивают язык живых клеток. NASA создаёт новые материалы для защиты космических путешественников от галактических лучей.

 20 November 2018
Заключение   Версия для печати  Отправить на E-mail 
Опубликовал Irina Bolshakova  
04 December 2004

В настоящее время кремниевая электроника успешно решает практически все задачи, возникающие при проектировании и разработке радиоэлектронных устройств. Успехи кремниевой электроники основаны на эффективной технологии изготовления микро-структур высокой степени интеграции. Долгие годы трудно было ожидать не только конкуренции, но и достаточно большого практического интереса к микроструктурам, изготавливаемым с применением иных материалов и реализующих новые физические эффекты. Однако дальнейшая интеграция кремниевых микросхем, увеличение их быстродействия и расширение функциональных возможностей требует огромных затрат и усилий, что приводит к росту интереса к новым материалам с новыми физическими эффектами.

1 m
1 m
100 nm
Рис.10 Линии ванадиево-оксидного резиста на кремнии

 

Рис.11 Высота линий резиста на кремнии Si.

Реальной выглядит ситуация, когда разработка новых микроструктур и развитие технологических приемов их получения (даже и с меньшей степенью интеграции, чем в кремниевых микросхемах, но основанных на иных физических эффектах) может быть более выгодна и эффективна, чем дальнейшее развитие кремниевой технологии. С этой точки зрения пленки ОПМ представляют собой перспективный и технологичный материал для разработки устройств электронной техники, оптоэлектроники и оптики.

Элементы электронных систем.

Most Read
Методы получения тонкопленочных структур
Квантовые ямы, нити, точки
Физические основы наноэлектроники
Получение нанокристаллических пленок ванадия, исследование их свойств
Сайт Нано Технологии

Shout It!

Имя:

Сообщение:


 
Go to top of page  Главная | Новости | Публикации | FAQ | Ссылки | Контакты |
Mambo 
Copyright © 2002-2005 Stefanovich G.B. & Bolshakova I.P.

НОЦ Плазма Петрозаводский государственный университет