Опубликовал Irina Bolshakova
|
|
|
28 November 2004
В плазменном травлении, которое иногда называют физическим травлением, реализуется хорошо известный и широко применяемый (например, для осаждения тонких пленок) процесс катодного распыления подложки ионами инертного газа. Однако эта техника не получила широкого применения по причине низкой селективности процесса. |
Последнее обновление (
22 May 2008 ) |